AEORHC 和 MKS 兩種品牌比例電磁閥的比較

發布日期：2026-01-08      瀏覽次數：185

AEORHC 和 MKS 兩種品牌比例電磁閥的比較




美國MKS 品牌比例電磁閥主要系列型號如下：

（1）148J全金屬流量控制閥：金屬密封，流量范圍0~20L/mim。

（2）154B大流量控制閥：橡膠密封，流量范圍20~200L/mim。

（3）248D通用型流量控制閥：橡膠密封，流量范圍0~50L/mim。



AEORHC 品牌主要有三種系列比例閥：

（1）8000系列比例閥：氟橡膠或全氟密封，流量范圍 0~18 L/min   (0.1Mpa)

(2) 6000系列比例閥：氟橡膠或全氟密封，流量范圍 0-56 L/min   (0.1Mpa)

(3) 9000 系列比例閥：氟橡膠或全氟密封，流量范圍 0-200 L/min  (0.1Mpa)



AEORHC 和 MKS 兩種比例閥結構和工作原理相同，

主要用于氣體流量和壓力控制。

 

MKS 產品在半導體、碳材料、太陽能設備等行業應用廣泛，

比如氣相沉積設備（MPCVD),控制氣體真空壓力；

 

AEORHC 產品在相同行業被大批量采用，

AEORHC 產品技術來自于美國和日本，

關鍵原材料從國外進口，

在原有工藝的基礎上加以改進，

結構緊湊，精度、重復性和穩定性好，

全氟密封可以用在有腐蝕性氣體的場合，

品種多，供貨周期短，性價比高，

在高要求的應用領域正逐步取代MKS的產品。